SPUTTERTARGETS AUS ALUMINIUM

HaohaiAluminium Sputtertargets und BogenKathoden mit besonders homogene Mikrostruktur und hervorragende Oberflächengüte dienen hauptsächlich zur Metallisierung in Dünnschicht-Transistoren für TFT-LCD-Monitore, Fernseher, Handy-Displays und CD.

Haohai Aluminium gehören Aluminium rotary Sputtertargets, planar Sputtertargets aus Aluminium und Aluminium kathodischen Ziele.

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Aluminium drehbar (Rotary, zylindrische) Sputtertargets

Fertigungsprogramm

OD (mm)	ID (mm)	Länge (mm)	Custom Made
80 - 250	60 - 230	100 - 4000

Spezifikation

Zusammensetzung	Al
Reinheit	3N (99,9 %), 3N5 (99,95 %), 4N (99,99 %), 4N5 (99,995 %), 5N (99,999 %)
Dichte	2,7 g/cm3
Korngrößen	Andlt; 100 Mikron oder auf Anfrage
Fertigungsprozesse	Vakuum, schmelzen, Bearbeitung
Form	Gerade, Hundeknochen
Anschlussarten	SCI, SRF, DSF, RFF, WFF, VA, GPI endet Fixierung, spiralförmige Rille, Custom Made für SS sichern Rohr
Oberfläche	RA 1.6 Mikrometer

Andere Spezifikation

✦Dampf entfettet und nach der abschließenden Bearbeitung entmagnetisiert.

✦Zeichnung Anforderungen erfüllt ID muss GESCHLIFFEN und OD BODEN nach rohen Rohr hergestellt wird, um die ID zu OD Rundlauf zu gewährleisten.

✦Hohen vakuumdicht, Leckrate an jedem beliebigen Ort nicht zu mehr als 1 x 10-8 STD CC/Sek.

✦In Kunststoff versiegelt, eingehüllt in Schaum zu schützen und enden gekappt Oberflächen Versiegelung zu schützen.

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Aluminium-Planar (Rechteck, Rundschreiben) Ziel-Sputtern

Fertigungsprogramm

Rechteck	Länge (mm)	Breite (mm)	Dicke (mm)	Custom Made
	10 - 2000	10 - 600	5.0 - 40
Kreisförmige	Durchmesser (mm)		Dicke (mm)
	5.0 - 500		5.0 - 40

Spezifikation

Zusammensetzung	Al
Reinheit	3N (99,9 %), 3N5 (99.95%),4N (99,99 %), 4N5 (99,995 %), 5N (99,999 %)
Dichte	2,7 g/cm3
Korngrößen	Andlt; 100 Mikron oder auf Anfrage
Fertigungsprozesse	Vakuum, schmelzen, Bearbeitung
Form	Monolithische, mehreren Segmenten Ziel, kleben
Typen	Platte, Scheibe, Schritt nach unten verschrauben, Threading, Custom Made
Oberfläche	RA 1.6 Mikrometer

Andere Spezifikationen

Ebenheit, saubere glatte Oberfläche, poliert, frei von Riss, Öl, Punkt.

Ausgezeichnete Kommunikationselektronik, kleinen linearen Ausdehnungskoeffizienten und gute Hitzebeständigkeit.

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Aluminium Bogen Kathoden

Wir liefern Dreh- und planare Arc Kathoden sowie Dreh- und planare Sputtertargets

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Für unsere Aluminium Sputtertargets und Arc Kathoden

Toleranz

ACC, Zeichnungen oder auf Anfrage.

Haohai bietet Aluminium Sputtertargets und Arc Kathoden ständig und verbessert die folgenden Material und Schichteigenschaften:

✦Feine Körnung und homogene Mikrostruktur

✦Hohe Duktilität

✦Herausragende Materialhärte

✦Ausgezeichnete Beständigkeit gegen oxidation

✦Reibungskoeffizient

✦Temperaturbeständigkeit

✦Thermische Leitfähigkeit

✦Hohe elektrische Leitfähigkeit

Verunreinigungen Inhalt [ppm]

Aluminiumanteil		Al
Reinheit [%]		99.999
Metallische Verunreinigungen [ppm]	Al	Matrix
	Cu	1.3