ZIRKONIUM (Zr) SPUTTERTARGETS

Neben Titan-Produkte Zirkonium ist ein Hauptprodukte von Haohai, konzentrieren wir uns auf Zirkon-Materialien und ihre Anwendung für eine lange Zeit. Haohai Zirkonium Sputter Ziel- und Arc Kathoden sind bekannt und extensiv genutzte in PVD Beschichtung Bereich wegen der hohen Reinheit, feine Körnungen, homogene microstructure, ausgezeichnete Oberflächenbeschaffenheit und genauen Abmessungen.

Haohai Zirkonium Sputtertarget gehören monolithische rotary Sputtertarget Ziconium, planar Sputtertarget Zirkonium und Bogen kathodischen Ziel.

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Zirkonium monolithischen Rotary (drehbar, zylindrische) Sputtertargets

Fertigungsprogramm

OD (mm)	ID (mm)	Länge (mm)	Custom Made
50 - 300	30 - 280	100 - 4000

Spezifikation

Zusammensetzung	ZR
Reinheit	R60702, 3N (99,9 %),3N5 (99,95 %), 4N (99,99 %)
Dichte	6,50 g/cm3
Korngrößen	Andlt; 80 µm oder auf Anfrage
Fertigungsprozesse	Vakuum-schmelzen, Schmieden, Extrudieren, Bearbeitung
Form	Gerade, Hundeknochen
Anschlussarten	SCI, SRF, DSF, RFF, WFF, VA, GPI endet Fixierung, spiralförmige Rille, Custom Made
Oberfläche	RA 1.6 Mikrometer

Andere Spezifikation

✦Dampf, entfettet und entmagnetisiert nach der abschließenden Bearbeitung

✦Zeichnung Anforderungen erfüllt ID muss GESCHLIFFEN und OD BODEN nach rohen Rohr hergestellt wird, um die ID zu OD Rundlauf zu gewährleisten.

✦Hohes Vakuum eng, Leckrate an jedem beliebigen Ort nicht zu überschreiten 1 x 10^-8STD CC/SEK.

✦In Kunststoff versiegelt, eingehüllt in Schaum zu schützen und enden gekappt Oberflächen zum Schutz der Abdichtung

Normale Größen

Zirkonium-Rotary Sputtertargets

Normale Größen

55mm ID X 70 OD mm X 1334 mm lang 80mm ID x 100mm OD x lang 125mm ID X 153 OD mm X 576 mm lang 125mm ID X 153 OD mm X 800 mm lang 125mm ID X 153 OD mm X 895 mm lang 125mm ID X 155 OD mm X 895 mm lang 125mm ID X 153 OD mm X 1172 mm lang 125mm ID X 153 OD mm X 1676 mm lang 125mm ID X 153 OD mm X 1940 mm lang 125mm ID X 153 OD mm X 1994 mm lang 125mm ID X 153 OD mm X 2420 mm lang 125mm ID X 153 OD mm X 3191 mm lang 125mm ID X 153 OD mm X 3582 mm lang 125mm ID x 153mm OD x lang 125mm ID X 180 OD mm X 624 mm lang 194mm ID X 219 OD mm X 2301 mm lang

Im Vergleich zum planaren Konfigurationen, zylindrische Sputtertarget Haohai bieten:

✦Größere Erosion-Zonen, die 2-bis 2,5-fache der stoffliche Verwertung zur Verfügung zu stellen

✦Längere Lebensdauer der Ziel, das reduziert die Häufigkeit von Ausfallzeiten für Wartung Changeouts und Kammer

✦Maßanfertigung in monolithischen, segmentierte oder thermischer Spray Formaten

✦End-Features, die Präzision maschinell bearbeitet für individuelle Kathode Systementwürfe sind

✦Reduzieren der Cost of Ownership für großflächige Veredelungsstufen

✦Vielzahl der Materialien einschließlich

✦Optimale Korngröße und einheitliche Mikrostruktur gewährleisten konsistente Prozessleistung durch vollständige Ende des Lebens

✦Vollständige Homogenität und hohe Reinheitsgrade produzieren einheitliche Berichterstattung

✦In der Lage, Materialien zu jeder Größe-Operation von Randamp liefern; D, Serienfertigung

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Zirkonium Planar (Rechteck, Rundschreiben) Sputtertargets

Fertigungsprogramm

Rechteck	Länge (mm)	Breite (mm)	Dicke (mm)	Custom Made
	10 - 2000	10 - 1200	1.0 - 50.8
Kreisförmige	Durchmesser (mm)		Dicke (mm)
	10 - 1000		1.0-100

Spezifikation

Zusammensetzung	ZR
Reinheit	R60702, 3N (99,9 %), 3.5N (99,95 %),4N (99,99 %), 4.5N (99,995 %)
Dichte	6,50 g/cm3
Korngrößen	Andlt; 80 µm oder auf Anfrage
Fertigungsprozesse	Vakuum-schmelzen, Schmieden, Walzen, Bearbeitung
Form	Platte, Scheibe, Schritt, Custom Made
Typen	Monolithische, mehreren Segmenten Ziel-
Oberfläche	RA 1.6 Mikrometer

Andere Spezifikationen

Rechteck-Ziele

Gewalzte Platten pro ASTM B551

Für Rechteck Ziele wir große Platten in Größen mit Wasserstrahl geschnitten, damit die Zusammensetzung, mechanischen Eigenschaften und die Kornstruktur des jedes Teil im selben Batch ist homogen und konsistent. Liefern wir das Layout der master Platte, unsere Kunden kann die Position von jedem Teil von unserem Kennzeichnungssystem verfolgen.

Kreisförmige Ziele

Gewalzte Takte pro ASTM B550

Für die kreisförmige Ziele wir schneiden lange Stangen in Größen von Draht-Elektrode schneiden, um sicherzustellen, dass die Zusammensetzung, mechanischen Eigenschaften und die Kornstruktur des jedes Teil im selben Batch ist homogen und konsistent, liefern wir das Layout der Meister Bar, unser Kunde die Position jedes Teils von unserem Markierungssystem verfolgen kann.

Wir sorgen dafür, die gleiche Faserrichtung in mehreren Segmenten Bauteile.

Ebenheit, saubere Oberfläche, poliert, frei von Riss, Öl, Punkt.

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Zirkonium Arc Kathoden

Wir liefern Dreh- und planare Arc Kathoden sowie Dreh- und planare Sputtertargets

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Für unsere Sputtertargets Zirkonium und Arc Kathoden